Methods and apparatus for atmospheric pressure atomic layer deposition
WO2013142344
Art A1
26. September 2013
Anmelder: North Carolina State University 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013142344
- Aktenzeichen
- EP13765003
- Anmeldetag
- 15. März 2013
- Veröffentlichung
- 26. September 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/448C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- North Carolina State University
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
North Carolina State University
US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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