Laser with integrated multi line or scanning beam capability

WO2013142511 Art A1 26. September 2013

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013142511
Aktenzeichen: EP13763829
Anmeldetag: 19. März 2013
Veröffentlichung: 26. September 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/10H01S3/101G02F1/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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