Laser apparatus

WO2013144678 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013144678
Aktenzeichen: EP12818575
Anmeldetag: 21. Dezember 2012
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/23H01S3/00H01S3/0971H01S3/223H01S3/03H01S3/038H01S3/041G02F1/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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