Laser apparatus and extreme-ultraviolet light generation system using the same

WO2013144692 Art A2 3. Oktober 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc., Nowak, Krzysztof, Wakabayashi, Osamu 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013144692
Aktenzeichen: EP13715741
Anmeldetag: 13. Februar 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Gigaphoton Inc.
Nowak, Krzysztof
Wakabayashi, Osamu
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von