Laser apparatus and its manufacturing method, comprising frames joined together with a bolt-based system

WO2013144693 Art A2 3. Oktober 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc., Kawasuji, Yasufumi, Hoshino, Hideo 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013144693
Aktenzeichen: EP13715744
Anmeldetag: 8. März 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01S5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Gigaphoton Inc.
Kawasuji, Yasufumi
Hoshino, Hideo
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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