Laser apparatus, laser system, and extreme ultraviolet light generation apparatus

WO2013144695 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc., Nowak, Krzysztof, Suganuma, Takashi, Wakabayashi, Osamu 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013144695
Aktenzeichen: EP13719179
Anmeldetag: 8. März 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01S3/036H01S3/10H01S3/104H01S3/23H01S3/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Gigaphoton Inc.
Nowak, Krzysztof
Suganuma, Takashi
Wakabayashi, Osamu
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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