System for monitoring failure of substrate processing apparatus, and method for monitoring failure of substrate processing apparatus

WO2013145606 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013145606
Aktenzeichen: EP13769136
Anmeldetag: 14. März 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G01N35/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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