Liquid injection method and liquid injection device

WO2013145700 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013145700
Aktenzeichen: EP13767882
Anmeldetag: 25. März 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01M14/00G02F1/13G02F1/1341H01L31/04H01M2/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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