Underlayer film composition for imprinting, and method for forming a pattern employing same

WO2013145829 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013145829
Aktenzeichen: EP13767838
Anmeldetag: 25. Januar 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02C08K5/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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