Microwave irradiating antenna, microwave plasma source, and plasma processing device

WO2013145916 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013145916
Aktenzeichen: EP13769722
Anmeldetag: 14. Februar 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H01L21/3065H01P5/103

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von