Exposure writing device and exposure writing method

WO2013145986 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: FUJI-FILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013145986
Aktenzeichen: EP13769966
Anmeldetag: 22. Februar 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJI-FILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

21.764 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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