Deposition prevention plate for vacuum film forming device, vacuum film forming device, and vacuum film forming method

WO2013146137 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013146137
Aktenzeichen: EP13769147
Anmeldetag: 6. März 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C14/14H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

21.764 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von