Articulated robot, and conveying device

WO2013146763 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013146763
Aktenzeichen: EP13770358
Anmeldetag: 26. März 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B25J9/06B65G49/07H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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