Algorithm for minimizing latent sharp image and point spread function cost functions with spatial mask fidelity

WO2013148139 Art A1 3. Oktober 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013148139
Aktenzeichen: EP13768897
Anmeldetag: 11. März 2013
Veröffentlichung: 3. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G06K9/44G06T5/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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