Method for manufacturing monocrystalline sic epitaxial substrate, and monocrystalline sic epitaxial substrate

WO2013150587 Art A1 10. Oktober 2013

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013150587
Aktenzeichen: EP12873657
Anmeldetag: 2. April 2012
Veröffentlichung: 10. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20C23C16/32H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissin Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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