Mask adjustment unit, mask device, and device and method for manufacturing mask

WO2013150699 Art A1 10. Oktober 2013

Anmelder: Sony Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013150699
Aktenzeichen: EP13772973
Anmeldetag: 31. Januar 2013
Veröffentlichung: 10. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/04H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sony Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sony Group

Japanischer Technologie- und Unterhaltungskonzern mit Sitz in Tokio. Sony entwickelt Unterhaltungselektronik, Bildsensoren, Spielesysteme sowie Musik- und Filmangebote.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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