Object transfer system, exposure apparatus, method for manufacturing flat panel display, device manufacturing method, object holding apparatus, object transfer apparatus, object transfer method, and object replacing method

WO2013150787 Art A1 10. Oktober 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013150787
Aktenzeichen: EP13772251
Anmeldetag: 3. April 2013
Veröffentlichung: 10. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B65G49/06G02F1/13G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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