Filtration Filter

WO2013151147 Art A1 10. Oktober 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013151147
Aktenzeichen: EP13772066
Anmeldetag: 29. März 2013
Veröffentlichung: 10. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B01D69/02B01D39/16B01D39/20B01D69/04B01D69/10B01D69/12B01D71/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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