Conical sponge brush for cleaning semiconductor wafers

WO2013152008 Art A1 10. Oktober 2013

Anmelder: Illinois Tool Works Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013152008
Aktenzeichen: EP13719191
Anmeldetag: 2. April 2013
Veröffentlichung: 10. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B08B1/04A46B13/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Illinois Tool Works Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Illinois Tool Works

US-amerikanischer Mischkonzern, der Ausrüstung und Komponenten für Bereiche wie Schweißtechnik, Bauwesen, Lebensmittelverpackung und Fahrzeugtechnik entwickelt und fertigt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von