Techniques for generating three dimensional structures

WO2013152070 Art A1 10. Oktober 2013

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013152070
Aktenzeichen: EP13717646
Anmeldetag: 3. April 2013
Veröffentlichung: 10. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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