Cassette apparatus, substrate transfer apparatus, substrate processing apparatus, and substrate processing method

WO2013153706 Art A1 17. Oktober 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013153706
Aktenzeichen: EP12874092
Anmeldetag: 17. Dezember 2012
Veröffentlichung: 17. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B65H23/04H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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