Mobile body device, exposure device, and device production method

WO2013153744 Art A1 17. Oktober 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013153744
Aktenzeichen: EP13776021
Anmeldetag: 15. März 2013
Veröffentlichung: 17. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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