Multiplexing Euv Sources in Reticle Inspection

WO2013154887 Art A1 17. Oktober 2013

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013154887
Aktenzeichen: EP13775119
Anmeldetag: 3. April 2013
Veröffentlichung: 17. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/01G01N21/956G01N21/33H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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