Indexing Optics For an Actinic Extreme Ultra-Violet (euv) Reticle Inspection Tool

WO2013155399 Art A1 17. Oktober 2013

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013155399
Aktenzeichen: EP13775827
Anmeldetag: 12. April 2013
Veröffentlichung: 17. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/15G01N21/88G01N21/33

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

Kein Vertreter erfasst.

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen