Smart memory alloys for an inspection, metrology, review or formation apparatus
WO2013155469
Art A1
17. Oktober 2013
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013155469
- Aktenzeichen
- EP13775358
- Anmeldetag
- 12. April 2013
- Veröffentlichung
- 17. Oktober 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.