Method and system for real time inspection of a silicon wafer

WO2013158039 Art A2 24. Oktober 2013

Anmelder: Nanyang Technological University 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013158039
Aktenzeichen: EP13778080
Anmeldetag: 17. April 2013
Veröffentlichung: 24. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nanyang Technological University
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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