Critical dimension uniformity monitoring for extreme ultra-violet reticles

WO2013158593 Art A1 24. Oktober 2013

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013158593
Aktenzeichen: EP13778010
Anmeldetag: 16. April 2013
Veröffentlichung: 24. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24H01L21/66H01L21/027G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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