Flexible conduit for fluid, lithographic apparatus, and method for manufacturing a device

WO2013160021 Art A1 31. Oktober 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013160021
Aktenzeichen: EP13711630
Anmeldetag: 19. März 2013
Veröffentlichung: 31. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: B32B15/08B32B15/20B32B1/08F16L11/08F16L11/16G03F7/20H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von