Variable Orifice Type Pressure-Controlled Flow Rate Controller

WO2013161186 Art A1 31. Oktober 2013

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013161186
Aktenzeichen: EP13782149
Anmeldetag: 1. April 2013
Veröffentlichung: 31. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06F16K7/16F16K31/04F16K31/524

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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