Active Spectral Control During Spectrum Synthesis

WO2013162850 Art A1 31. Oktober 2013

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013162850
Aktenzeichen: EP13781299
Anmeldetag: 4. April 2013
Veröffentlichung: 31. Oktober 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01J3/28

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von