Method for evaluating and improving pupil luminance distribution, illumination optical system and adjustment method thereof, exposure device, exposure method, and device manufacturing method

WO2013164997 Art A1 7. November 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013164997
Aktenzeichen: EP13784191
Anmeldetag: 30. April 2013
Veröffentlichung: 7. November 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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