Metal precursor using aminothiolate ligand, method for preparing same, and method for manufacturing thin film by using same

WO2013165221 Art A1 7. November 2013

Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013165221
Aktenzeichen
EP13784194
Anmeldetag
3. Mai 2013
Veröffentlichung
7. November 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C07F1/08C07F3/06C07F7/22C07F7/24C23C16/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Research Institute of Chemical Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Research Institute of Chemical Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.

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