Defect analysis assistance device, program executed by defect analysis assistance device, and defect analysis system

WO2013168487 Art A1 14. November 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013168487
Aktenzeichen: EP13787906
Anmeldetag: 1. April 2013
Veröffentlichung: 14. November 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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