Surface treatment method for germanium-based device

WO2013170516 Art A1 21. November 2013

Anmelder: Peking University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013170516
Aktenzeichen
EP12876859
Anmeldetag
14. Juni 2012
Veröffentlichung
21. November 2013
Rechtsraum
WO
IPC
C23C8/40C23G1/02H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Peking University
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Peking University

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