Exposure apparatus

WO2013172163 Art A1 21. November 2013

Anmelder: V Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013172163
Aktenzeichen: EP13791525
Anmeldetag: 24. April 2013
Veröffentlichung: 21. November 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B41J2/44B41J2/45B41J2/455H01L21/027H01L33/62H01L51/50H01S5/022H05B33/02H05B33/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: V Technology Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

349 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von