Facet Mirror

WO2013174644 Art A1 28. November 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013174644
Aktenzeichen: EP13720946
Anmeldetag: 7. Mai 2013
Veröffentlichung: 28. November 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/00G02B19/00G02B27/09G02B27/14G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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