Hafnium-containing precursors for vapor deposition

WO2013177284 Art A1 28. November 2013

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013177284
Aktenzeichen: EP13793119
Anmeldetag: 22. Mai 2013
Veröffentlichung: 28. November 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/00C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von