Measurement method, image processing device, and charged particle beam device

WO2013180043 Art A1 5. Dezember 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013180043
Aktenzeichen
EP13796805
Anmeldetag
27. Mai 2013
Veröffentlichung
5. Dezember 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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