Apparatus and methods for rapid thermal processing

WO2013181263 Art A1 5. Dezember 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc., Lawrence Livermore National Security, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013181263
Aktenzeichen: EP13798079
Anmeldetag: 29. Mai 2013
Veröffentlichung: 5. Dezember 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/324H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Lawrence Livermore National Security, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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🇺🇸 Lawrence Livermore National Security

Lawrence Livermore National Security ist die Betreibergesellschaft des Lawrence Livermore National Laboratory, eines US-Forschungslabors für nationale Sicherheit und Energie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch Optik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2002 bis 2025.

559 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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