Charged-particle radiation device

WO2013183573 Art A1 12. Dezember 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013183573
Aktenzeichen
EP13801215
Anmeldetag
3. Juni 2013
Veröffentlichung
12. Dezember 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/20G09G5/00G09G5/36G09G5/377H01J37/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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