Method for recycling organic ruthenium compound for chemical vapor deposition

WO2013183703 Art A1 12. Dezember 2013

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013183703
Aktenzeichen: EP13800143
Anmeldetag: 6. Juni 2013
Veröffentlichung: 12. Dezember 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C07F15/00B01J23/44C07C7/12C07C7/163C07C13/263C07C13/42C07C45/79C07C45/85C07C49/92

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik

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