Semiconductor substrate, method of manufacturing semiconductor substrate, and method of manufacturing composite substrate
WO2013187078
Art A1
19. Dezember 2013
Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013187078
- Aktenzeichen
- EP13804588
- Anmeldetag
- 14. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 19. Dezember 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205C23C16/18C23C16/28C23C16/30H01L21/02H01L21/20H01L27/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Sumitomo Chemical Company, Limited
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Chemical
Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.
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🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
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Vertreten von
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