Optical signal detecting circuit, light volume detecting device, and charged particle beam device

WO2013187511 Art A1 19. Dezember 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013187511
Aktenzeichen: EP13803732
Anmeldetag: 14. Juni 2013
Veröffentlichung: 19. Dezember 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/42G01N23/225H01J37/244G01N21/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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