Pattern forming method, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition and resist film used therefor, and electronic device manufacturing method and electronic device using the same

WO2013187520 Art A1 19. Dezember 2013

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013187520
Aktenzeichen: EP13805174
Anmeldetag: 10. Juni 2013
Veröffentlichung: 19. Dezember 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/32H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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