Measurement assembly, method for measuring a feature on a surface, method for manufacturing a structure and pointer

WO2013187532 Art A1 19. Dezember 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013187532
Aktenzeichen: EP13735085
Anmeldetag: 14. Juni 2013
Veröffentlichung: 19. Dezember 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01S17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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