High Sampling Rate Sensor Buffering in Semiconductor Processing Systems

WO2013188213 Art A1 19. Dezember 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013188213
Aktenzeichen
EP13803999
Anmeldetag
6. Juni 2013
Veröffentlichung
19. Dezember 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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