Workpiece Carrier

WO2013188519 Art A1 19. Dezember 2013

Anmelder: Axcelis Technologies Inc., Lee, William Davis, Hoyt, Kevin, Shanner, David, Beringer, Jason 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013188519
Aktenzeichen: EP13733152
Anmeldetag: 12. Juni 2013
Veröffentlichung: 19. Dezember 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Axcelis Technologies Inc.
Lee, William Davis
Hoyt, Kevin
Shanner, David
Beringer, Jason
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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