Teeter-totter type mems accelerometer with electrodes on circuit wafer

WO2013188662 Art A1 19. Dezember 2013

Anmelder: Analog Devices, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013188662
Aktenzeichen
EP13730785
Anmeldetag
13. Juni 2013
Veröffentlichung
19. Dezember 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G01P15/08B81B7/00B81B5/00B81C1/00G01P15/125
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Analog Devices, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇮🇪 Analog Devices

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit irischer Konzerngesellschaft. Analog Devices entwickelt analoge, gemischte und digitale Signalverarbeitungschips für Industrie-, Kommunikations- und Automobilanwendungen.

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