Extreme ultraviolet light generation system

WO2013190944 Art A1 27. Dezember 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013190944
Aktenzeichen: EP13806484
Anmeldetag: 22. Mai 2013
Veröffentlichung: 27. Dezember 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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