Polishing composition and substrate fabrication method using same

WO2013191139 Art A1 27. Dezember 2013

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013191139
Aktenzeichen
EP13807093
Anmeldetag
17. Juni 2013
Veröffentlichung
27. Dezember 2013
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/00C09G1/02C09K3/14H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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